Насос Maglev, CXF-250 / 2301E, ISO-K / CF, бортовое водяное охлаждение

Краткое описание:

Магнитно-левитирующие молекулярные насосы - это насосы, валопровод которых поддерживается за счет магнитной силы, отвечающий требованиям применения в областях современного производства полупроводников, производства микросхем, промышленных покрытий и научных инструментов.


Информация о продукте

Теги продукта

Технологии:

  • Технология управления магнитным подшипником: 5-осевой магнитно-левитирующий, основанный на передовой международной теории управления, чтобы гарантировать такие значительные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
  • Технология управления моторным приводом: Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обладающая максимальной энергией двигателя и автоматически компенсирующая скорость вращения вала, тем самым реализуя стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии.
  • Технология ротора из углеродного волокна: Изготовлен из высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. характеризуется значительным снижением веса и значительным повышением прочности, так что достигаются цели, связанные с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
  • Антикоррозийная технология: Поверхности деталей в камерах обрабатываются специальным способом, поэтому поверхности могут долгое время противостоять коррозии, вызываемой агрессивными газами в процессах производства полупроводников. Кроме того, инертные газы, такие как N2, полностью заполняют валы насосов для защиты низковакуумных частей в насосах, так что реализуется функция стабильного отвода коррозионных газов в течение длительного времени.
  • Система контроля температуры отопления: оснащены электронагревателем и регулятором температуры, охлаждающая вода, воздушно-костный нагрев, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, могут контролироваться и контролироваться во время работы, температура в насосах может поддерживаться на определенном уровне в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, поэтому могут быть выполнены требования для специального процесса, такого как травление.

Преимущества:

Эти насосы обладают такими преимуществами, как отсутствие трения во время работы и низкое энергопотребление, простота получения действительно чистого высокого вакуума и сверхвысокого вакуума без смазки для насосов, возможность извлечения агрессивных газов в течение длительного времени, высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите. подшипников с прецизионными керамическими шариками и функцией выработки энергии в случае внезапного отключения питания. Он отличается отсутствием трения, загрязнения и обслуживания, низким уровнем вибрации и может быть установлен в любом положении.

Приложения:

Извлечение агрессивных газов, присутствующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, которые легко коагулируются при нормальной температуре в областях производства полупроводников, изготовления зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно в области.

Характеристики:

Модель CXF-250/2301
Скорость насоса (л / с, воздух) 2200
Степень сжатия > 1 × 107
Максимальный вакуум (Па) ≤2 × 10-7
Входной фланец DN250 ISO F
DN250 CF
Выходной фланец KF 40
Скорость вращения (об / мин) 30000
Время разгона (мин) 8
VIB (мм) <0,05
Резервный насос (л / с) 15
Монтаж или установка Любой
Метод охлаждения Вода
Вес (кг) (с контроллером) 58

  • Предыдущий:
  • Следующий:

  • Напишите здесь свое сообщение и отправьте его нам

    Категории товаров