Технологии:
- Технология управления магнитным подшипником: 5-осевой магнитно-левитирующий, основанный на передовой международной теории управления, чтобы гарантировать такие значительные преимущества высокоскоростного вала, как стабильная левитация и надежная работа.
- Технология управления моторным приводом: Высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система сервоуправления, обладающая максимальной энергией двигателя и автоматически компенсирующая скорость вращения вала, тем самым реализуя стабильный запуск, надежную работу и функцию автоматического регулирования динамической энергии.
- Технология ротора из углеродного волокна: Изготовлен из высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. характеризуется значительным снижением веса и значительным повышением прочности, так что достигаются цели, связанные с высокой скоростью вращения, высокой производительностью и высокой надежностью.
- Антикоррозийная технология: Поверхности деталей в камерах обрабатываются специальным способом, поэтому поверхности могут долгое время противостоять коррозии, вызываемой агрессивными газами в процессах производства полупроводников. Кроме того, инертные газы, такие как N2, полностью заполняют валы насосов для защиты низковакуумных частей в насосах, так что реализуется функция стабильного отвода коррозионных газов в течение длительного времени.
- Система контроля температуры отопления: оснащены электронагревателем и регулятором температуры, охлаждающая вода, воздушно-костный нагрев, электрический нагрев и тепло, переносимое защитными газами, могут контролироваться и контролироваться во время работы, температура в насосах может поддерживаться на определенном уровне в течение длительного времени, некоторые газообразные вещества не превращаются в твердые вещества при нормальной температуре и не осаждаются в насосах, поэтому могут быть выполнены требования для специального процесса, такого как травление.
Преимущества:
Эти насосы обладают такими преимуществами, как отсутствие трения во время работы и низкое энергопотребление, простота получения действительно чистого высокого вакуума и сверхвысокого вакуума без смазки для насосов, возможность извлечения агрессивных газов в течение длительного времени, высокая безопасность и длительный срок службы благодаря защите. подшипников с прецизионными керамическими шариками и функцией выработки энергии в случае внезапного отключения питания. Он отличается отсутствием трения, загрязнения и обслуживания, низким уровнем вибрации и может быть установлен в любом положении.
Приложения:
Извлечение агрессивных газов, присутствующих при травлении, CVD, PVD и ионной имплантации, и газов, которые легко коагулируются при нормальной температуре в областях производства полупроводников, изготовления зажимов, промышленных покрытий и научных инструментов, особенно в области.
Характеристики:
Модель |
CXF-250/2301 |
Скорость насоса (л / с, воздух) |
2200 |
Степень сжатия |
> 1 × 107 |
Максимальный вакуум (Па) |
≤2 × 10-7 |
Входной фланец |
DN250 ISO F |
DN250 CF |
Выходной фланец |
KF 40 |
Скорость вращения (об / мин) |
30000 |
Время разгона (мин) |
8 |
VIB (мм) |
<0,05 |
Резервный насос (л / с) |
15 |
Монтаж или установка |
Любой |
Метод охлаждения |
Вода |
Вес (кг) (с контроллером) |
58 |