Фланец (In) | DN100CF | рекомендуемое форвакуумное давление | Па | 100 | |
DN100 ISO-K | форвакуумный насос | RV-4 (по умолчанию) | |||
Фланец (Out) | ISO-KF | DN25 | Тип охлаждения, стандартный | Воздуха | |
Скорость откачки | л / с | N2: 110 | Расход охлаждающей воды | Л / мин | > 1 |
Он 100 | Температура охлаждающей воды | ℃ | ≤25 | ||
H2: 50 | Входное напряжение / частота | В / Гц | 220 ± 22/50 | ||
Ar : 100 | Температура окружающей среды (℃) | Водяное охлаждение | 5 ℃ -40 ℃ | ||
Степень сжатия | N2: 108 | Воздушное охлаждение | 5 ℃ -32 ℃ | ||
Он : 102 | монтажное положение | Вертикальный | |||
H2: 102 | Модель контроллера | ФД-110Б | |||
Ar : 108 |
Д * Ш * В |
мм | 500 × 510 × 840 | ||
Максимальное давление | Па | CF : 5 × 10-5 | |||
Масса | кг | 52 |
Насосная станция FJ-110, водяное / воздушное охлаждение, предельный вакуум (без нагрузки Па): 5 × 10-5
Стандартная насосная станция FJ-110 - это очистное оборудование для получения высокого вакуума.
Такое оборудование представляет собой систему получения вакуума, основанную на принципе вакуума, и состоит из механического насоса и молекулярного насоса. Он отличается быстрым запуском, высоким вакуумом, небольшим загрязнением маслом, простотой в эксплуатации и т. Д. И широко используется в областях анализа поверхности, ускорительной техники, плазменной технологии, производства электрических вакуумных устройств и других областях вакуума. Оборудование состоит из нестандартной рамы, механического насоса и трубопроводов, электрических систем управления, контроля защиты водяного охлаждения и т. Д.
Основные параметры:
Предельный вакуум (без нагрузки): ≤ 5 × 10-5 Па
Скорость утечки вакуумной системы: ≤ 5 × 10-9 Па · м3 / с
Напряжение питания: 220 В ± 10/50 Гц
Способ охлаждения: вода
Температура окружающей среды для использования оборудования: 5-40 ℃.
Влажность окружающей среды при использовании оборудования: ≤ 80%