Преимущества:
Насосы этой серии обладают хорошими характеристиками в суровых условиях окружающей среды (высокая температура, пыль и т. Д.), Стабильны в работе и имеют длительный срок службы, а также простое обслуживание и удобство эксплуатации.
Приложения:
Основные области применения: обнаружение утечек в промышленности, PVD, CVD, ионная имплантация, производство вакуумных электронных компонентов, низкоэмиссионное стекло, стекло ITO, оптическое покрытие, солнечные элементы, электронно-лучевая сварка, вакуумные печи и другие отрасли.
Характеристики:
Фланец (In) | DN400 ISO-K | Газ во всем (sccm) | N25500 |
Фланец (Out) KF | DN100 | Он 4000 | |
Скорость откачки (л / с) | N23500 : | H23200 : | |
Он 2650 : | Ar : 2100 | ||
H2: 1280 | Скорость вращения (об / мин) | 13500 | |
Ar : 3200 | Время разгона (мин.) | ≤18 | |
Степень сжатия | N2: 108 | Тип охлаждения, стандартный | Вода |
Он : 103 | Расход охлаждающей воды (л / мин) | ≥1 | |
H2: 102 | Температура охлаждающей воды (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | Подключение питания: напряжение (В переменного тока) | DC24 / AC220 | |
Предельное давление (Па) | 6 × 10-6 | Максимальная потребляемая мощность (Вт) | ≤1100 |
Максимум. Постоянное форвакуумное давление (Па) | 100 | Модель контроллера | FD-III |
Максимум. Форвакуумное давление | N2: 300 | Вес (кг) | 130 |